Una criobomba és una bomba de buit que utilitza una superfície de baixa temperatura per condensar gas, també coneguda com a bomba de condensat. La criobomba pot obtenir un buit net amb la velocitat de bombeig més alta i la pressió final més baixa, i s'utilitza àmpliament en la investigació i producció de semiconductors i circuits integrats, així com en investigació de feix molecular, equips de recobriment al buit, instruments d'anàlisi de superfícies al buit, ions. implantadors i simulació espacial. dispositius, etc.
Principi de bombeig La criobomba està equipada amb una placa freda refredada a una temperatura molt baixa per heli líquid o una nevera. Condensa el gas i manté la pressió de vapor del condensat per sota de la pressió final de la bomba, per aconseguir l'efecte de bombeig. Les principals funcions del bombeig a baixa temperatura són la condensació a baixa temperatura, l'adsorció a baixa temperatura i la captura de baixa temperatura.
criobomba
① Condensació a baixa temperatura: les molècules de gas es condensen a la superfície de la placa freda o a la capa de gas condensat, i la pressió d'equilibri és bàsicament igual a la pressió de vapor del condensat. Quan es bombeja hidrogen, la temperatura de la placa freda és més baixa.
② Adsorció a baixa temperatura: les molècules de gas s'adsorbeixen a la superfície de l'adsorbent recobert a la placa freda amb un gruix d'una capa molecular. La pressió d'equilibri per a l'adsorció és molt inferior a la pressió de vapor a la mateixa temperatura.
③ Atrapament criogènic: les molècules de gas que no es poden condensar a la temperatura d'extracció són enterrades i adsorbides per la capa creixent de gas condensable.