Les criobombes es fabriquen segons el principi de condensació de gasos, adsorció criogènica, atrapament criogènic o succió per obtenir buit.
1. Segons la pressió de treball de la bomba, es pot dividir en criobomba per a rang de flux continu, criobomba per a rang de flux molecular, normalment una bomba de condensat més una etapa d'adsorció o una etapa de captura criogènica.
2. Segons el mètode de refrigeració, es pot dividir en criobomba de tanc d'emmagatzematge, criobomba evaporativa i criobomba de refrigeració. Entre ells, la criobomba del dipòsit d'emmagatzematge i la criobomba evaporativa utilitzen refrigerant líquid per a la refrigeració, la superfície de l'escut de refrigeració s'utilitza habitualment nitrogen líquid i la superfície criogènica s'utilitza habitualment heli líquid o heli gasós per a la refrigeració. A causa de la inflamabilitat, l'explosivitat i l'alt preu de l'hidrogen líquid, encara s'utilitza rarament malgrat la seva entalpia d'evaporació més alta que l'heli líquid.
Els refrigeradors de criobomba de refrigeració són utilitzats habitualment per Gifford. Tipus McMahon (conegut com a nevera GM) i tipus Stirling (conegut com a nevera St). Per a les criobombes de refrigeració amb gran velocitat de bombeig, es pot utilitzar un refrigerador de temperatura d'heli líquid i es pot configurar una vàlvula JT per formar un dispositiu de refrigeració de circulació líquida i, de vegades, s'utilitza nitrogen líquid en un dipòsit d'emmagatzematge de líquid o una màquina de liqüefacció de nitrogen per refredar el deflector i la superfície de l'escut.
El rendiment principal de la criobomba
①Més alt que la velocitat de bombeig, millor que tots els altres tipus de bombes.
② No hi ha restriccions en la forma, es pot submergir a la cambra de buit o fixar-se a la paret de la cambra de buit amb una brida.
③ Pot proporcionar un buit completament net sense contaminació al sistema de buit.
④Es pot obtenir un grau de buit de pressió extremadament baixa, com per sota de 10-12Pa. A més, el funcionament de la criobomba és fiable i, quan la velocitat de bombeig és relativament gran, el cost operatiu de la seva inversió és inferior al de la bomba de buit tradicional i és fàcil realitzar l'automatització.